1.5 µm
1,5 µm (o 1500 nanometri) evoluzione del precedente processo a 3 µm è un processo produttivo della tecnologia dei semiconduttori con cui vengono prodotti i circuiti integrati a larghissima scala di integrazione (VLSI).
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10 µm
10 µm (o 10000 nanometri) è un processo produttivo della tecnologia dei semiconduttori con cui vengono prodotti i circuiti integrati a larghissima scala di integrazione (VLSI).
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3 um.